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【技术设备】氮化硅陶瓷工艺流程及设备
来源:君铖新材料
时间:2025-07-28
浏览量:

工艺步骤 设备

| 粉体合成 | 高温氮化炉、CVD反应器、球磨机 | 控制氧含量和相组成 |

| 成型 | 等静压机、注塑机、流延机 | 根据产品形状选择 |

| 烧结 | 热压炉、气压烧结炉、常压烧结炉 | 热压炉需石墨模具 |

| 加工 | 金刚石线切割机、精密磨床 | 加工精度需达微米级 |

| 检测 | SEM、XRD、力学测试仪 | 分析相组成和缺陷 |

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